190-400nm紫外相應高靈敏度的紫外高分辨率波前分析儀

     基于Phasics 的SID4四波橫向剪切干涉技術所開發的專利技術，高分辨率波前傳感器SID4-UV可覆蓋190-400 nm紫外檢測波段，在紫外線光譜中提供了高分辨率（355x280測量點）和非常高的靈敏度（1 nm RMS）。為波前像差、波前畸變的檢測以及激光光束及波前探測、分析提供了全新方案。

     基于 的專利技術，法國Phasics公司的波前傳感器具備高靈敏度及高相位分辨率的特點，即插即用的適用類型適用于大多數用戶的應用環境。法國Phasics公司為用戶提供兩款紫外檢測波前分析儀，SID4-UV和SID4-UV-HR。

     相比之下，SID4-UV適用于250-400 nm波段的紫外光譜，250 × 250的取樣分辨率、2 nm RMS的相位靈敏度以及7.4 × 7.4 mm2的靶面面積足以滿足大部分用戶需求，相比于SID4-UV-HR 具備成本效益，在滿足用戶使用需求的前提下有效的節約用戶成本。

     其中SID4-UV-HR作為SID4-UV的增強款，該設備在190-400 nm的紫外波段有著很高的相位分辨率（355×280取樣分辨率）、很高的相位靈敏度（ 1 nm RMS）以及 的靶面面積（13.8 x 10.88 mm2）。這使得SID4-UV-HR適用于光刻、半導體等領域，尤其適用于透鏡或晶圓等的光學組件表征以及波前像差，波前曲線的波前探測需求。

 

高分辨率波前傳感器應用領域：

-天文觀測

-航空 工業

-半導體加工

 

-工業激光

-光學元件及組裝

-增強現實-虛擬現實

 

SID4-UV高分辨率波前傳感器產品規格：

型號	SID4-UV
波長范圍	250 - 400 nm
靶面尺寸	7.4 x 7.4 mm2
空間分辨率	29.6 μm
取樣分辨率	250 x 250
相位分辨率	2 nm RMS
絕對精度	10 nm RMS
取樣速度	30 fps
實時處理速度*	> 2 fps (全分辨率下)*
接口種類	以太網口
尺寸（寬x高x長）	78 x 88.1 x 71.1 mm3
重量	約575g

*使用 電腦搭載SID4軟件環境下

 

高分辨率波前傳感器主要特點：

-190-400 nm紫外波段響應

-1 nm RMS高相位靈敏度

-355 × 280 相位取樣分辨率

 

 

紫外波前分析儀主要特點：

-250 - 400 nm紫外波段響應

-2 nm RMS高相位靈敏度

-250 × 250 相位取樣分辨率

 

高分辨率波前傳感器產品應用：

-激光檢測

-自適應光學檢測

-等離子體檢測

-光學元件及光學系統計量

 

SID4-UV-HR高分辨率波前傳感器產品規格：

型號	SID4-UV-HR
波長范圍	190 - 400 nm
靶面尺寸	13.8 x 10.88 mm2
空間分辨率	38.88 μm
取樣分辨率	355 x 280
相位分辨率	1 nm RMS
絕對精度	10 nm RMS
取樣速度	30 fps
實時處理速度*	> 3 fps (全分辨率下)*
接口種類	CameraLink
尺寸（寬x高x長）	51 x 51.1 x 76 mm3
重量	約300g

*使用 電腦搭載SID4軟件環境下

 

 

高分辨率波前傳感器產品應用：

-激光檢測

-自適應光學檢測

-等離子體檢測

-光學元件及光學系統計量

-波前曲線檢測